百科释义
报错LIGA是源自德国的微机电系统（MEMS）加工技术，其名称由德文光刻（Lithographie）、电铸（Galvanoformung）和注塑（Abformung）首字母组成。该技术于1982年首次提出，通过X射线深度光刻、电铸成型和注模复制三步核心工艺，可制造厚度超1500微米、高宽比达500的三维结构，适用于金属、陶瓷、聚合物等多种材料。经过多年发展，LIGA工艺衍生出多种改良技术。国内采用SU-8光刻胶替代传统PMMA胶以提高效率；为降低X射线光源成本，开发了紫外光曝光的UV-LIGA、准分子激光的Laser-LIGA等准LIGA技术。这些改进通过优化光源或掩模工艺降低成本，推动其在微传感... 查看百科
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