百科释义
报错MESM是一种微机电系统传感器,应用于加速度、陀螺仪等传感领域,其产品具有体积小、重量轻、灵敏度高、易于集成等优势,并普遍采用I2C、SPI等数字总线接口。该传感器基于微机电系统的机电耦合效应,核心架构包括质量块-弹簧-阻尼系统和电容检测机制。MESM传感器已形成包含设计、晶圆制造、封装测试、终端应用的全产业链布局,产品支持电容式/压电式/谐振式加速度计和振动梁式/科里奥利式陀螺仪设计,并集成ASIC信号调理电路实现温度补偿和滤波处理。新一代技术向3D封装、SiP系统级封装演进,覆盖智能驾驶、可穿戴设备及医疗植入等应用场景。 查看百科
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