fib

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聚焦离子束（Focused Ion beam，简称FIB）是一种利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微切割仪器。FIB是将离子源（大多数FIB都用Ga，也有设备具有He和Ne离子源）产生的离子束经过离子枪加速，聚焦后作用于样品表面。查看百科

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