百科释义
报错甲硅烷（SiH4），一种无机化合物，是最简单、最稳定的硅烷。分子结构与甲烷类似，分子量为32.12。无色气体，有十分强烈而使人不快的气味。不见空气时相当安定。沸点 -111.8°C，熔点 -185°C。溶于水中，同时发生分解。加热至 400°C 时分解为硅及氢。与碱类作用分解为氢及硅酸盐。在空气中能着火。利用其热分解特性，甲硅烷可用来制备高纯硅，硅的收率达99%以上。高纯甲硅烷是电子行业特种气体中最重要的“源”性气体，广泛用于半导体芯片、显示面板、太阳能电池等的制造过程中，其作为含硅薄膜和涂层的应用已从传统微电子和光电子产业扩展到化工、光学、钢铁、机械等诸多领域，行业影响力显著。吸入甲硅烷及其... 查看百科
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